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J-GLOBAL ID：200903070670450710
表面観察方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991358414
Publication number (International publication number)：1993180614
Application date： Dec. 27, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 傾きを持っていたり、傾いて取り付けられた試料においても、リアルタイムに傾きを補正して高速で試料表面を観察する。【構成】 探針1を試料3に対向して配置する。走査制御器2は探針1を保持し、X,Y,Z方向に動作する。傾き取り込み装置5は試料面3aの傾きデータを記憶する。4は補正装置で、補正した値は観察装置6に送られる。
Claim (excerpt)：
試料面を走査して試料から受ける物理量により探針を制御し、この制御量により試料面の凹凸像を観察する方法において、前記試料面の凹凸像を観察する以前にあらかじめ試料面を走査して面の傾きを取り込み記憶し、この記憶データにより前記試料面の傾きを補正することを特徴とする表面観察方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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