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J-GLOBAL ID：200903070684491141

直接写像型リターディングフィルタ

Inventor： 津野 勝重
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992325597
Publication number (International publication number)：1994176722
Application date： Dec. 04, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 リターディング型ウィーンフィルタを用いて電子ビームのエネルギー損失像を観察する。【構成】 光軸Oに沿って、ラウンドレンズ(IL)1、減速レンズ(DL)2、ウィーンフィルタ(WF)3、加速レンズ(AL)4及びスリット5がこの順序に配置されている。そして、IL1、DL2、WF3及びAL4の全てのレンズは実像結像するように励磁される。そして更に、IL1はその回折像がDL2の位置より後方に生じるように、DL2はその回折像をWF3より後方に生じるように、AL4はその回折像をスリット5の位置に生じるように励磁される。

Claim (excerpt)：

光軸に沿って、ラウンドレンズと、減速レンズと、ウィーンフィルタと、加速レンズと、スリットがこの順序で配置された直接写像型リターディングフィルタにおいて、前記ラウンドレンズ、減速レンズ、ウィーンフィルタ及び加速レンズは全て実像結像するように励磁され、且つ前記ラウンドレンズはその回折像が前記減速レンズの位置より後方に生じるように、前記減速レンズはその回折像を前記ウィーンフィルタより後方に生じるように、前記加速レンズはその回折像を前記スリットの位置に生じるように励磁されることを特徴とする直接写像型リターディングフィルタ。

IPC (4)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/29 ,  H01J 49/48