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J-GLOBAL ID：200903070716802357
プローブとそれを用いた走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997099665
Publication number (International publication number)：1998282130
Application date： Apr. 01, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、たわみ変位を正確に計測でき、検出感度か高く、小型化が可能なプローブと、それを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のプローブは、支持ブロックに設けられた2つの梁によって、回転可能に支持されている薄膜平板を有するプローブであって、該梁に設けられたピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体の抵抗を測定するための電気的接続を行う電極を備え、前記ピエゾ抵抗体の抵抗が前記梁のねじり回転に応じて変化するように構成されていることを特徴とするものであり、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、上記した本発明のプローブを用いて構成したことを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
支持ブロックに設けられた2つの梁によって、回転可能に支持されている薄膜平板を有するプローブであって、該梁に設けられたピエゾ抵抗体と、該ピエゾ抵抗体の抵抗を測定するための電気的接続を行う電極を備え、前記ピエゾ抵抗体の抵抗が前記梁のねじり回転に応じて変化するように構成されていることを特徴とするプローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G02B 21/00
Cited by examiner (6)
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