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J-GLOBAL ID：200903070760154818

透明ガスバリア膜、透明ガスバリア膜付き基体およびその製造方法

Inventor： 高松 敦 ,  菅 稔元
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002316534
Publication number (International publication number)：2004148673
Application date： Oct. 30, 2002
Publication date： May. 27, 2004
Summary：

【課題】フラトパネルディスプレイなどに用いられる有機物に対し、耐久性を向上させるための、極めて優れたガスバリア性を有するガスバリア膜を提供する。【解決手段】基体の表面に成膜される酸化珪素系(SiOx)の透明ガスバリア膜において、酸化珪素系の透明ガスバリア膜が、C(炭素)およびN(窒素)のいずれをも含み、Si(珪素)、O(酸素)、C、Nの元素成分比が、Siの1に対して、Oが0.60〜1.70、Cが0.05〜0.40、Nが0.05〜0.60である透明ガスバリア膜。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基体の表面に成膜される酸化珪素系(SiOx)の透明ガスバリア膜において、酸化珪素系の透明ガスバリア膜が、C(炭素)およびN(窒素)のいずれをも含むことを特徴とする透明ガスバリア膜。

IPC (4)：

B32B9/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/10 ,  C23C14/24

FI (4)：

B32B9/00 A ,  C23C14/06 K ,  C23C14/10 ,  C23C14/24 F

F-Term (20)：

4F100AA20B ,  4F100AG00A ,  4F100AK01A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100EH66B ,  4F100GB41 ,  4F100JD02 ,  4F100JN01B ,  4F100YY00B ,  4K029AA11 ,  4K029BA41 ,  4K029BA46 ,  4K029BA64 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029DD05 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01 ,  4K029EA05