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J-GLOBAL ID：200903070760170414

高速X線CT用多角形型半導体検出器とその製造方法

Inventor： 三澤 雅樹
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001023141
Publication number (International publication number)：2002228758
Application date： Jan. 31, 2001
Publication date： Aug. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 従来のX線を半導体によって検出するX線CT用半導体検出器においては、半導体素子を1つずつ被検体の周囲に配置しているため多くの手数を要すると共に、精度が悪かった。【解決手段】 CdTeからなる平面状の単一半導体基板3上に、複数のX線検出画素4を1列に配置したものをフォトリソグラフィーにより製造し、X線検出器モジュール1とする。測定領域5の周囲の測定断面円周6上にこのX線検出器モジュール1を複数個配置することによりX線CT用多角形型半導体検出器を製造する。それにより例えば測定領域5に密度の異なる混相流体を流すと、内部の密度分布の投影データを高速で収集することができる。この検出器は、均質な特性となり、製造時間と製造コストを大幅に低減させることができる。

Claim (excerpt)：

平面状の単一半導体基板上に形成された複数のX線検出素子からなる検出器モジュールを備え、該検出器モジュールを被写体配置部の周囲に複数個多角形状に配置してX線半導体検出器を構成したことを特徴とする高速X線CT用多角形型半導体検出器。

IPC (6)：

G01T 1/24 ,  G01N 23/04 ,  G01T 1/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/32

FI (6)：

G01T 1/24 ,  G01N 23/04 ,  G01T 1/00 B ,  H04N 5/32 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A

F-Term (40)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA10 ,  2G001KA03 ,  2G001MA02 ,  2G088EE02 ,  2G088EE30 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ02 ,  2G088JJ04 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ37 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CB05 ,  4M118FB08 ,  4M118FB09 ,  4M118GA10 ,  4M118HA24 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX17 ,  5C024EX21 ,  5C024EX25 ,  5F088AA11 ,  5F088AB09 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088BB10 ,  5F088EA03 ,  5F088EA04 ,  5F088EA06 ,  5F088EA20 ,  5F088JA20