Pat
J-GLOBAL ID：200903070785339685
照明光学装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 陽一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287434
Publication number (International publication number)：1993045605
Application date： Aug. 12, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 断面が長方形をなすフライアイレンズを用いた照明光学装置に於て、照明効率を高めるようにして、照明体の照度を高め得るようにした照明光学装置を提供する。【構成】 光源の像を、略長方形の微小レンズ組み合わせてなるフライアイレンズを介してコンデンサレンズに入射させ、光源を、前記長方形の長辺方向に沿って設けられた複数の光源からなるものとする。
Claim (excerpt)：
光源の像をフライアイレンズを介してコンデンサレンズに入射させ、このコンデンサレンズと投影光学系との間に、照明すべき透光性の被照明体を配置する照明光学装置に於て、前記フライアイレンズを構成する個々の微小レンズの入射側の断面形状を略長方形とし、前記光源を、前記長方形の長辺方向に沿って設けられた複数の光源からなるものとしたことを特徴とする照明光学装置。
IPC (3)：
G02B 27/00
, G03B 21/14
, H01L 21/027
