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J-GLOBAL ID：200903070786976026
金属複合酸化物膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992253240
Publication number (International publication number)：1994101049
Application date： Sep. 22, 1992
Publication date： Apr. 12, 1994
Summary：
【要約】【構成】 それぞれ純度が99.0%以上のPb(DPM)2 (グラフ(a))、Zr(DPM)4 (グラフ(b))、およびTi(DPM)2 (O-i-C3 H7)2 (グラフ(c))を気相源として用い、CVD法によりPb(Zrx Ti1-x)O3 膜を形成する。【効果】 均質で高機能なPZT膜が得られる。β-ジケトネート金属錯体は、配位結合のため反応性に優れ、揮発性もよく、またすべての原料の性質が類似しているので、反応の制御が容易で均質な成膜が得られる。
Claim (excerpt)：
化学気相析出法によって金属複合酸化物膜を形成する方法において、気相源として、純度が99.0%以上のβ-ジケトネート金属錯体を用いることを特徴とする金属複合酸化物膜の製造方法。
IPC (5)：
C23C 16/40 ZAA
, C01G 25/00
, C23C 16/18
, C23C 16/44
, C30B 29/32
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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