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J-GLOBAL ID：200903070807093847

振動ジャイロ

Inventor： 増 尾 翼
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992088166
Publication number (International publication number)：1993256652
Application date： Mar. 11, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 振動体の種類や状態にかかわらず、配向性結晶を有する圧電体層が形成された振動ジャイロを得る。【構成】 略3角柱状の振動体12と、X字状の2つの支持部材14a,14bと、矩形枠状の支持台16とが、シリコン基板をエッチングすることによって、一体的に形成される。振動体12の3つの側面全面には、金属薄膜からなる下部電極20が形成される。また、振動体12の1つの側面の中央には、圧電体薄膜からなる圧電体層22aおよび金属薄膜からなる上部電極24aが積層的に形成される。同様に、振動体12の他の側面の中央にも、圧電体層および上部電極が、それぞれ積層的に形成される。これらの圧電体層の材料としては、ニオブ酸バリウム鉛が使用される。

Claim (excerpt)：

多角柱状の振動体と、前記振動体の側面に形成される圧電体層とを含む振動ジャイロにおいて、前記圧電体層に使用される圧電体材料として、ニオブ酸バリウム鉛が使用されることを特徴とする、振動ジャイロ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04