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J-GLOBAL ID：200903070807628899

走査型プローブ顕微鏡用のプローブおよびその製造方法

Inventor： 杉村 博之 ,  中桐 伸行
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996276281
Publication number (International publication number)：1998123154
Application date： Oct. 18, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】探針としての微粒子を正確に再現性よく、決められた位置に、取り付けることのできる走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供する。【解決手段】カンチレバー72と、カンチレバー72を片持ち支持する支持体12とを有する。カンチレバー72の先端部の予め定められた位置には、探針を取り付けるための位置決めマーク13が形成されている。よって、この位置に探針として微粒子を取り付ける際に、正確にしかも再現性よく取り付けることができる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーと、前記カンチレバーを片持ち支持する支持体とを有し、前記カンチレバーの先端部の予め定められた位置には、探針を取り付けるための位置決めマークが形成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。