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J-GLOBAL ID：200903070809373588

ワイヤソーの切断方法

Inventor： 山本 清二 ,  沢藤 進
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998319018
Publication number (International publication number)：2000141201
Application date： Nov. 10, 1998
Publication date： May. 23, 2000
Summary：

【要約】【目的】切断される被加工物切断面のうねりおよび被加工物切断面の表面粗さを減少させることができる。【解決手段】往復走行するワイヤ列にインゴットを押し当て、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイヤソーにおいて、ワイヤ新線供給量を、切断面の弦の長さ、インゴット長さ、ワイヤの巻き掛けピッチ、切断力係数、新線供給量係数、双方向サイクル数、新線供給量初期値に応じて制御し、また、新線供給量統括係数ks2を、ks2≧0.7と設定した。そしてまた、双方向サイクル数を、切断面の長さ、双方向サイクル数係数、切断開始時の双方向サイクル数に応じて制御するかまたは、双方向周期を、切断開始時の双方向周期、双方向周期係数、切断面の弦の長さに応じて制御する。これにより、ワイヤ新線供給量、ワイヤ往復双方向サイクル数またはワイヤ往復双方向周期が適切に制御可能となり、切断されるウェーハ切断面のうねりや、ウェーハ表面粗さを向上させることができる。

Claim (excerpt)：

往復走行するワイヤを複数個の溝を有するグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、ワイヤ列に加工液を供給しながら被加工物であるインゴットを押し当てることにより、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイヤソーにおいて、切断面の弦の長さL、インゴット長さGL、ワイヤの巻き掛けピッチP、切断力係数f1、新線供給量係数ks1、双方向サイクル数C、新線供給量初期値WL0、とする時、ワイヤ新線供給量設定値WL(m/min)は下式、により求められて制御されることを特徴とするワイヤソーの切断方法。

IPC (3)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611

FI (3)：

B24B 27/06 S ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 W

F-Term (19)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA18 ,  3C058AB08 ,  3C058AC04 ,  3C058BA07 ,  3C058BA09 ,  3C058BB06 ,  3C058BB09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BC03 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02