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J-GLOBAL ID：200903070828951665

β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体

Inventor： 阿久津 光男 ,  久保田 直宏 ,  増子 哲史 ,  山田 直樹
Applicant, Patent owner： 旭電化工業株式会社
Agent (1)： 羽鳥 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267387
Publication number (International publication number)：1998114781
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 他のCVD材料との反応性が低く、混合物としても揮発特性が変化しない、CVD材料として有用な金属錯体化合物を提供すること。【解決手段】 本発明のβ-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体は、下記〔化1〕の一般式(I)で表されるものである。【化1】

Claim (excerpt)：

下記〔化1〕の一般式(I)で表される、β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体。【化1】

IPC (6)：

C07F 7/28 ,  C07F 7/00 ,  C07F 7/22 ,  C07F 7/24 ,  C23C 16/00 ,  C23C 16/40

FI (6)：

C07F 7/28 F ,  C07F 7/00 A ,  C07F 7/22 U ,  C07F 7/24 ,  C23C 16/00 ,  C23C 16/40