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J-GLOBAL ID：200903070877967356

焦点検出装置

Inventor： 米澤 康男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141450
Publication number (International publication number)：1997325277
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 コンフォーカル顕微鏡の原理を用いた焦点検出装置を得る。【解決手段】 焦点検出用光源11,12,13の光を、対物レンズ1から接眼レンズ2に至る観察用光路中に配設されたダイクロイックミラー15に反射させて観察用光路中に導き、対物レンズ1を通して観察標本5に照射させる。そして、観察標本5から反射されて対物レンズ1を介して戻ってくる光をダイクロイックミラー15およびハーフミラー16により反射させて受光基板17のピンホール17aに照射させ、このピンホール17aを通過する光の光量を光量検出器18により検出する。さらに、観察標本5の上下位置を変化させる焦点調節装置6を有する。焦点検出用光源および受光基板17は、対物レンズ1による観察標本5の像面の共役位置に配設されており、焦点調節装置6により距離を変化させたときに、光量検出器18により検出される光量が最大となるときにジャストフォーカス状態となる。

Claim (excerpt)：

観察標本を対物レンズを通して観察するための光学機器に設けられて前記観察標本の合焦状態を検出する焦点検出装置において、所定の一方向において実質的な点光源である焦点検出用光源と、前記対物レンズから観察位置に至る観察用光路中に配設されて前記焦点検出用光源からの光を前記対物レンズへ導き、前記対物レンズを通過させて前記観察標本へ照射する第1部分反射光学素子と、前記観察標本にて反射された後に前記対物レンズを経て戻る前記焦点検出用光源からの光を、前記所定の一方向に対応する一方向において微少開口である開口部を介して受光し、この開口部からの光の光量を検出する光量検出手段と、前記観察標本と前記対物レンズとの距離を変化させる焦点調節手段とを有し、前記焦点検出用光源と前記開口部とは、前記対物レンズによる前記観察標本の像面と共役な位置に配設され、前記焦点調節手段により前記距離を変化させたときの前記光量検出手段が検出する光量変化に基づいて、前記光学機器の合焦状態の検出を行うことを特徴とする焦点検出装置。

IPC (5)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/38 ,  G03B 13/36 ,  G01N 21/27

FI (5)：

G02B 21/00 ,  G01N 21/27 E ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 E ,  G03B 3/00 A