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J-GLOBAL ID：200903070885265751

大気圧グロ-放電プラズマ処理法

Inventor： 内山 宏
Applicant, Patent owner： イーシー化学株式会社
Agent (1)： 田中 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993078110
Publication number (International publication number)：1994285365
Application date： Apr. 05, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、特に被処理物が小型の部品、不定型の小型部品、粉末類、小型の繊維製品のような連続して大気圧グロ-プラズマ処理を行い難い物についての大気圧グロ-放電プラズマ処理法を提供する。【構成】内部の空気を希ガスまたは希ガスと反応ガスの混合ガスで置換したプラスチック製の袋内に被処理物を収納し、大気中に存在する平行電極の間に位置せしめ、平行電極に高周波電圧を印加して袋の内部に大気圧グロ-放電プラズマを発生させて被処理物の表面に親水性または疎水性を付与することを特徴とする大気圧グロ-放電プラズマ処理法である。

Claim (excerpt)：

内部の空気を希ガスまたは希ガスと反応ガスの混合ガスで置換したプラスチック製の袋内に被処理物を収納し、大気中に存在する平行電極の間に位置せしめ、平行電極に高周波電圧を印加して袋の内部に大気圧グロ-放電プラズマを発生させて被処理物の表面に親水性または疎水性を付与することを特徴とする大気圧グロ-放電プラズマ処理法。

IPC (6)：

B01J 19/08 ,  D06M 10/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50