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J-GLOBAL ID:200903070908276870
弾性表面波装置及びその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995152934
Publication number (International publication number):1997008595
Application date: Jun. 20, 1995
Publication date: Jan. 10, 1997
Summary:
【要約】【目的】 一括処理に向き、量産に適した弾性表面波装置及びその製造方法を提供する。【構成】 圧電基板11の上に、複数の弾性表面波素子からなる弾性表面波素子群12と、各弾性表面波素子に接続される取出し電極(入出力端子13、アース端子14)を形成する。弾性表面波素子群12と取出し電極とが形成された圧電基板11の全面に薄膜材料15をコーティングする。薄膜材料15をコーティングした圧電基板11に、弾性表面波素子における弾性表面波伝搬領域に対向する部分に凹部を有する蓋材を直接接合する。弾性表面波素子を個片に切り出して取出し電極を端面に露出させた後、端面に露出した取出し電極に外部電極18を接続する。
Claim (excerpt):
圧電基板上に、弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子に接続され、前記圧電基板の端面まで引き出された取出し電極とを少なくとも備えた弾性表面波装置であって、前記弾性表面波素子及び取出し電極上に存在する絶縁性の薄膜材料を介して前記圧電基板に直接接合された蓋材と、前記圧電基板と前記蓋材との接合界面の端部に露出した前記取出し電極に接続された外部電極とを有することを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2):
FI (2):
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