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J-GLOBAL ID：200903070911146847

対象物を検査するための干渉計測装置

Inventor： ビート メラー ,  ギュンター ルドルフ
Applicant, Patent owner： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 松田 省躬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998037986
Publication number (International publication number)：1998262929
Application date： Feb. 05, 1998
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被検者の眼球の不随意運動に左右されずに、かつ信号ノイズ比率の低減した高感度の深部断面画像の獲得を実現すること【解決手段】 1つの照射光ビームと、照射光を種々異なる方向の光線成分とするための回折用光学素子(以下DOEという)とからなり、照射ビーム中で少なくとも一方向にその照射光を偏向させる走査素子の少なくとも1つに先行して前記DOEが設けられ、光学的光路長の差を調整するために、対象物の検査用の照射光が入射される位置調整可能な干渉計アームが少なくとも1個設けられている対象物を検査するための干渉計測装置。

Claim (excerpt)：

1つの照射光ビームと、照射光を種々異なる方向の光線成分とするための回折用光学素子(以下DOEという)とにより対象物を検査するための干渉計測装置において、照射ビーム中で少なくとも一方向にその照射光を偏向させる走査素子の少なくとも一つに先行して前記DOEが設けられている装置。

IPC (2)：

A61B 3/10 ,  G02B 5/18

FI (2)：

A61B 3/10 R ,  G02B 5/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 眼球内距離の測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-349471   Applicant：カールツアイスイエーナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 立体形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-235239   Applicant：興和株式会社
• レーザスキャナ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-333299   Applicant：オリンパス光学工業株式会社