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J-GLOBAL ID：200903070917895949

ポリフェノールおよびアセタールをベースとする感光性組成物

Inventor： ウルリッヒ シャァデリ
Applicant, Patent owner： チバ-ガイギー アクチエンゲゼルシャフト
Agent (1)： 萼 経夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080459
Publication number (International publication number)：1993222257
Application date： Mar. 02, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】【構成】a)ソリッドフィルム形成性ポリフェノール、b)式I[n:2、3又は4;Ar :n価ベンゼン基又はナフタレン基、又は式II(Q:直接結合、-O- 、-SO- 、-SO2- 、 -CH2- 、 -C(CH3)(フェニル)-又は -C(CH3)2-)の2価基;R1 及びR2 :C1 〜C8 アルキル基、又は未置換もしくはC1 〜C4アルキル置換されたフェニル基又はナフチル基、又はR1 及びR2 は一緒になって、1,2-フェニレン基又は-[C( R')( R")]m- (R’及びR”:H、炭素C1 〜C4 アルキル基又はフェニル基;m:2、3又は4)]の化合物、及びc)化学線の下、酸を形成する化合物よりなる、感光性組成物。【効果】水性アルカリ液中で膨潤せず現像でき、ネガレジストとして印刷板、印刷回路及び集積回路の生産に有用である。保護コーティング及びレリーフ構造の製造に利用され得る。【化1】

Claim (excerpt)：

a)少なくとも一種のソリッドフィルム形成性ポリフェノール、b)少なくとも一種の式I【化1】[式中、nは2、3または4を表わし、Ar はn価のベンゼン基もしくはナフタレン基、または式II【化2】(式中、Qは直接結合、-O- 、-SO- 、-SO2- 、 -CH2- 、 -C(CH3)(フェニル)-または -C(CH3)2-を表わす。)で表わされる2価の基を表わし、R1 およびR2 の各々は他方と独立して、炭素原子数1ないし8のアルキル基、または各々が未置換であるかもしくは炭素原子数1ないし4のアルキル基により置換されたフェニル基もしくはナフチル基を表わすか、またはR1 およびR2 は一緒になって、1,2-フェニレン基または【化3】(式中、R’およびR”の各々は他方と独立して、水素原子、炭素原子数1ないし4のアルキル基またはフェニル基を表わし、そしてmは2、3または4を表わす。)を表わす。]で表わされる化合物、およびc)化学線の下、酸を形成するところの少なくとも一種の化合物よりなる、感光性組成物。

IPC (8)：

C08L 25/18 KFX ,  C08K 5/04 ,  C08K 5/07 ,  C08K 5/521 KGB ,  C08L 35/00 LJW ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/28