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J-GLOBAL ID：200903070925973495

オートフォーカス制御方法および観察装置

Inventor： 羽根田 努
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995002670
Publication number (International publication number)：1996190045
Application date： Jan. 11, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 試料表面上の全ての領域に対して容易に合焦点位置を検出することができるオートフォーカス制御方法を提供する。【構成】 試料表面の凹凸幅よりも大きい第1の移動範囲内で対物レンズを上下に移動させながら(S103)、撮像装置により試料の画像を撮像し、その画像により画像処理装置でコントラストを算出し、そのコントラストに基づいて第1の合焦点位置を検出して、その位置に前記対物レンズを設置し(S104)、続いて、第1の合焦点位置から、試料表面の凹凸幅よりも小さい第2の移動範囲内で対物レンズを移動させながら(S106)、撮像装置により試料の画像を撮像し、その画像により画像処理装置でコントラストを算出し、そのコントラストに基づいて第2の合焦点位置を検出し、その位置に最終的に対物レンズを設置する(S107)。

Claim (excerpt)：

観察対象表面の凹凸幅よりも大きい第1の移動範囲内で対物レンズを上下に移動させながら前記観察対象の画像を撮像し、その画像により得られるコントラストデータに基づいて第1の合焦点位置を検出し、その位置に前記対物レンズを設置する第1のステップと、前記第1の合焦点位置から、前記観察対象表面の凹凸幅よりも小さい第2の移動範囲内で前記対物レンズを移動させながら前記観察対象の画像を撮像し、その画像により得られるコントラストデータに基づいて第2の合焦点位置を検出し、その位置に前記対物レンズを設置する第2のステップとを含むことを特徴とするオートフォーカス制御方法。

IPC (3)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/26 ,  G03B 13/36

FI (2)：

G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A