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J-GLOBAL ID：200903070939105194

走査型顕微鏡

Inventor： 木村 俊仁
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287696
Publication number (International publication number)：1993127089
Application date： Nov. 01, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レーザ光源から発せられた光ビームを試料上において収束させる集光レンズを、該光ビーム内で光軸と直交する方向に往復移動させて、光ビームを試料上において走査させるようにした走査型顕微鏡において、光ビームの強度分布によるムラの無い高画質の試料像を撮像可能とする。【構成】 集光レンズ17に入射する前のレーザビーム(照明光)11を逆ガウシアンモードフィルター13に通して、その強度分布をガウス分布からほぼ一様分布に変換させる。

Claim (excerpt)：

試料が載置される試料台と、光ビームを発するレーザ光源と、この光ビームを試料上において微小な光点として結像させる、該光ビームよりも小径の集光レンズを含む送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、前記集光レンズを保持する移動台と、この移動台を、集光レンズに前記光ビームが入射する範囲内で光軸と直交する方向に往復移動させて、前記光点を試料上において走査させる駆動手段とを備えた走査型顕微鏡において、前記集光レンズに入射する前の光ビームの強度分布を、ガウス分布からほぼ一様分布に変換するフィルターが設けられたことを特徴とする走査型顕微鏡。