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J-GLOBAL ID：200903070942329702

原子間力顕微鏡における超音波振動検出方法及び原子間力顕微鏡における試料観察方法

Inventor： オレグ コロソフ ,  山中 一司 ,  渡辺 和俊
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  セイコー電子工業株式会社
Agent (2)： 川井 治男 (外1名) ,  川井 治男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993133878
Publication number (International publication number)：1994323843
Application date： May. 12, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 1MHz以上の周波数の超音波振動をAFM の試料に発生させ、通常のカンチレバーを用いて検出することによって、AFM における粘弾性的性質等を1MHz以上の周波数で測定することを可能にする原子間力顕微鏡における超音波振動検出方法及び原子間力顕微鏡における試料観察方法を提供すること。【構成】 原子間力顕微鏡1において、試料8にカンチレバー11の共振周波数より十分高い超音波周波数の振動を加える。探針4と試料8間に働く力が距離に対して非線形な依存性を示すので、振動の振幅に依存する変位がカンチレバー11に誘起される。この変位を測定して超音波を検出する。

Claim (excerpt)：

試料表面と探針の間に作用する力により、微小領域の凹凸の映像化を行う原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;AFM )において、試料にカンチレバーの共振周波数より十分高い周波数の超音波振動を発生し、試料の超音波振動の振幅に依存する変位をカンチレバーに誘起して、この変位を検出することを特徴とする原子間力顕微鏡における超音波振動の検出方法。