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J-GLOBAL ID：200903070985599460

原料ガス供給方法及び装置

Inventor： 横川 清
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994052547
Publication number (International publication number)：1995236827
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 原料ガス取出口の圧力変動を制御して少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスの供給を互いに独立して供給する方法および装置を提供すること。【構成】 蒸発手段と、複数の原料ガス取出口を有する原料ガス取出部と、主調圧手段と、原料ガス凝縮手段とで構成した環流閉ル-プ回路内を蒸発手段で蒸発気化した原料ガスを循環させ、前記原料ガス取出部に設けた原料ガス取出口から少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスを互いに独立して供給する方法及び前記各手段が前記順序で環流閉ル-プ回路を形成している装置。

Claim (excerpt)：

原料ガスを複数のユーザーに精密に分配供給する方法において、蒸発手段と、原料ガス取出口を有する原料ガス取出部と、主調圧手段と、原料ガス凝縮手段とで構成した環流閉ル-プ回路に前記蒸発手段で蒸発気化した原料ガスを循環させ、回路外の少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスの供給を互いに独立に前記原料ガス取出部の原料ガス取出口から行うことを特徴とする原料ガス供給方法。

IPC (6)：

B01J 7/00 ,  B01J 4/00 102 ,  F17D 1/04 ,  C03B 37/018 ,  C30B 25/14 ,  H01L 21/205