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J-GLOBAL ID：200903071066640361

圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置

Inventor： 松原 正吾 ,  原 慎太郎 ,  鎌田 健
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003321369
Publication number (International publication number)：2004128492
Application date： Sep. 12, 2003
Publication date： Apr. 22, 2004
Summary：

【課題】誘電体薄膜素子において、誘電体薄膜の内部応力を緩和する。【解決手段】基板21と、基板21上に形成された第1の電極22と、第1の電極22上に形成された誘電体薄膜10と、誘電体薄膜10上に形成された第2の電極3を備えた誘電体薄膜素子16であって、誘電体薄膜10は、圧電性を有する圧電層10aと、第1の電極22および第2の電極3と電気的に絶縁され、圧電層10aよりもヤング率の小さな応力緩和層10bとを有する構成とする。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第1の電極上に形成された誘電体薄膜と、前記誘電体薄膜上に形成された第2の電極を備えた圧電体薄膜素子であって、 前記誘電体薄膜は、 圧電性を有する圧電層と、 前記第1の電極および前記第2の電極と電気的に絶縁され、前記圧電層よりもヤング率の小さな応力緩和層とを有することを特徴とする圧電体薄膜素子。

IPC (9)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

FI (12)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

F-Term (8)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG47 ,  2C057AN01 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14