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J-GLOBAL ID：200903071093649095

情報計測手段を備えた被処理基板

Inventor： 曽我 春昭 ,  森 義明
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992317367
Publication number (International publication number)：1994163340
Application date： Nov. 26, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 どのような構成の真空装置であっても、被処理基板の表面状態または周囲環境を示す情報を簡単に計測可能とし、さらにはプロセス全般に渡って前記情報を連続的に計測できる方法を提供することを目的とする。【構成】 半導体ウェハー1またはガラス基板である被処理基板9表面の状態、あるいは前記被処理基板周囲の環境を示す情報の計測手段の一部あるいは全てを、前記被処理基板上の回路6あるいは素子として形成する。あるいは、前記被処理基板上に情報計測手段からセンサー部を除いた情報計測処理回路6の、一部あるいは全てを具備する。

Claim (excerpt)：

半導体ウェハーまたはガラス基板である被処理基板表面の状態、あるいは前記被処理基板周囲の環境を示す情報の計測手段において、前記情報の計測手段の一部あるいは全てを、前記被処理基板上の回路あるいは素子として形成することを特徴とする、情報計測手段を備えた被処理基板。

IPC (4)：

H01L 21/02 ,  G01D 21/00 ,  H01L 21/66 ,  G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-169411
  
• 特開昭57-211696
  
• 特開昭62-169411