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J-GLOBAL ID：200903071097821046

FIB/EB複合装置

Inventor： 笠原 春生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992118856
Publication number (International publication number)：1993314941
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 EBカラム内の汚染を防止し、分解能の高い像観察を可能とするFIB/EB複合装置を実現する。【構成】 EBカラム4の対物レンズ10の開口から入り込む試料粒子Pを阻止するため、シャッター15が設けられている。このシャッター15は回転軸16によって回転させられ、試料1に試料を削るためにFIBが照射されている間、図3に示したように回転軸が回転され、対物レンズ10の開口14の前面にシャッター15が配置される。その結果、試料1からスパッタされた粒子Pの内、開口14方向に向かう粒子は、シャッター15に衝突し、開口14に入り込んでEBカラム4内を汚染することは防止される。

Claim (excerpt)：

試料室上に集束イオンビーム光学系カラムと電子ビーム光学系カラムを設け、イオンビームで試料を切削し、切削した試料部分で電子ビームを走査し、その走査に基づいて得られた信号により走査像を得るようにしたFIB/EB複合装置において、電子ビーム光学系カラムの先端の開口部を開閉するシャッターを設けたことを特徴とするFIB/EB複合装置。

IPC (5)：

H01J 37/28 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/31 ,  H01L 21/66