ポジ型感放射線性組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000372542
Publication number (International publication number)：2002174902
Application date： Dec. 07, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】a)一般式(1)で示される構造単位の化合物およびイタコン酸無水物とを含有する重合体、b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素、またはシアノ基のいずれかを表し、R1、R2、R3は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、炭素数7から16のアラルキル基、または-(CH2)n-COOR4(n=0〜6)を表し、R4は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、または炭素数7から16のアラルキル基を表す。ただし、R1、R2、R3のうち少なくとも1つはアリール基またはアラルキル基であり、R1、R2、R3がメチル基、メチル基、フェニル基の組み合わせであるものは除く。)

Claim (excerpt)：

a)一般式(1)で示される構造単位の化合物およびイタコン酸無水物とを含有する重合体、b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素、またはシアノ基のいずれかを表し、R1、R2、R3は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、炭素数7から16のアラルキル基、または-(CH2)n-COOR4(n=0〜6)を表し、R4は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、または炭素数7から16のアラルキル基を表す。ただし、R1、R2、R3のうち少なくとも1つはアリール基またはアラルキル基であり、R1、R2、R3がメチル基、メチル基、フェニル基の組み合わせであるものは除く。)

IPC (8)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08F222/04 , C08F222/32 , C08K 5/00 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08F222/04 , C08F222/32 , C08K 5/00 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , H01L 21/30 502 R

F-Term (55)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BF08 , 2H025BG00 , 2H025CB10 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025CB59 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BG071 , 4J002BG081 , 4J002BH021 , 4J002EN136 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB07R , 4J100AJ01R , 4J100AJ02R , 4J100AJ09R , 4J100AK31Q , 4J100AK32R , 4J100AL01P , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL24P , 4J100AL24R , 4J100AM01R , 4J100AM02R , 4J100AM05P , 4J100AM05R , 4J100AQ05R , 4J100AQ08R , 4J100BA03R , 4J100BA20P , 4J100BA29R , 4J100BB01R , 4J100BC43P , 4J100BC73R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA25 , 4J100JA37

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