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J-GLOBAL ID：200903071114284351

相関解析方法、相関解析装置および記憶媒体

Inventor： 那倉 康一 ,  根本 和典 ,  岩田 尚史 ,  諏訪内 尚克
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000200805
Publication number (International publication number)：2002024204
Application date： Jul. 03, 2000
Publication date： Jan. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】LSIが形成されたウエハの検査項目Wiと歩留まりとの、歩留まりと強い相関を持つ他の検査項目(オン電流)により隠された相関を顕在化する。【解決手段】オン電流の選択基準値Itmpを、最小オン電流Iminから最大オン電流Imaxに向けて順次段階的に増加させながら、Itmp以下のオン電流が測定されたウエハを対象に、検査項目Wiと歩留まりとの相関係数を算出し、その推移を求める。相関係数の推移において、ピークが現れた場合、検査項目Wiは、ピークに対応するオン電流以下の範囲において歩留まりと相関が高いと推定できる。

Claim (excerpt)：

複数の解析対象物各々に対して行われた複数の検査項目の、所定検査項目との相関を解析する相関解析方法であって、前記複数の検査項目のうちの1つを第1の検査項目とし、当該第1の検査項目の検査値の最小値と最大値との間に、複数の選択基準値を設定する第1のステップと、前記複数の検査項目のうち前記第1の検査項目以外の1つを第2の検査項目とし、前記第1の検査項目に設定した複数の選択基準値各々について、当該選択基準値以上あるいは以下をサンプル範囲として、前記第1の検査項目の検査値がサンプル範囲に属する各解析対象物に対する前記第2の検査項目の検査値と前記所定検査項目の検査値との相関係数を算出する第2のステップと、前記複数の選択基準値各々について算出した相関係数の、選択基準値の増減に対する推移を出力あるいは解析する第3のステップと、を有することを特徴とする相関解析方法。

IPC (5)：

G06F 17/15 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G06F 17/15 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/66 Z ,  G01R 31/28 Z

F-Term (30)：

2G003AA02 ,  2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AB05 ,  2G003AF01 ,  2G003AF02 ,  2G003AF03 ,  2G003AF06 ,  2G003AH00 ,  2G003AH01 ,  2G003AH02 ,  2G032AB02 ,  2G032AB20 ,  2G032AC03 ,  2G032AE08 ,  2G032AE09 ,  2G032AE10 ,  2G032AL00 ,  2G036AA27 ,  2G036BB09 ,  2G036CA00 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA70 ,  4M106DH01 ,  4M106DJ20 ,  5B056BB21 ,  5B056BB95