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J-GLOBAL ID：200903071205538275

メソ構造体薄膜およびその製造方法

Inventor： 堀切 智成 ,  宮田 浩克
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001138241
Publication number (International publication number)：2002338228
Application date： May. 09, 2001
Publication date： Nov. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 任意の基板上に配向性のチューブ状細孔を有するメソ構造体薄膜を形成する方法を提供する。【解決手段】 スピンコーティングにより界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を基板上に塗布してメソ構造体薄膜を作成する方法において、界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を調整する工程と、基板をスピンコーティング装置の回転中心の外側に保持する工程と、該基板上に前駆体溶液を載せてスピンコーティングにより塗布してメソ構造体の薄膜を作成する工程とを含むメソ構造体薄膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を遠心力を用いて基板上に塗布して作成されたメソ構造体薄膜であって、該薄膜内のチューブ状の細孔が基板に印加された遠心力の方向に略平行に配向していることを特徴とするメソ構造体薄膜。

IPC (2)：

C01B 33/12 ,  C01G 19/02

FI (2)：

C01B 33/12 C ,  C01G 19/02 C

F-Term (11)：

4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072BB13 ,  4G072BB15 ,  4G072GG01 ,  4G072HH30 ,  4G072KK17 ,  4G072NN21 ,  4G072RR12 ,  4G072UU11 ,  4G072UU15