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J-GLOBAL ID：200903071233101370
ポジ型感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996124898
Publication number (International publication number)：1997304924
Application date： May. 20, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、高感度で高解像力を有する超微細加工用ポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂および特定のキノンジアジドスルフォン酸アミド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂および下記一般式〔I〕で表される感光性化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(R1 〜R10:同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アシル基、水酸基、-OD、-NR25D、-N(D)2 (Dは1,2-ナフトキノンジアジド-5-または-4-スルフォニル基)を表す。ただし、R1 〜R10のうち少なくとも一つは、-NR25Dあるいは-N(D)2 である。R11〜R18:同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アシル基、水酸基、-OD(Dは1,2-ナフトキノンジアジド-5-または-4-スルフォニル基)を表す。ただし、R11〜R18のうち少なくとも一つは、水酸基あるいは-ODである。R19〜R25:同一でも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基を表す。)
IPC (2)：
FI (2)：
G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
