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J-GLOBAL ID：200903071236359565

吸着固定装置

Inventor： 河村 和典 ,  橘 俊光 ,  長井 陽三 ,  森山 順一
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 清原 義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995193992
Publication number (International publication number)：1996323571
Application date： May. 30, 1995
Publication date： Dec. 10, 1996
Summary：

【要約】【目的】 吸着固定性能が高く、しかも被吸着体を傷つけたりせず、かつ被吸着物に埃等をつけない吸着固定装置を提供する。【構成】 負圧を作用力として精密加工品を固定又は搬送に供する吸着固定装置において、被吸着体との接触部材を多孔質体としたことを特徴とする吸着固定装置である。

Claim (excerpt)：

負圧を作用力として精密加工品を固定又は搬送に供する吸着固定装置において、被吸着体との接触部材を多孔質体としたことを特徴とする吸着固定装置。

IPC (5)：

B23Q 3/08 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (6)：

B23Q 3/08 A ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 真空チヤック装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-103323   Applicant：ソニー株式会社
• 特開昭60-132744
  
• 特開平4-035827