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J-GLOBAL ID：200903071242186613
インクジェットヘッド及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992210423
Publication number (International publication number)：1994055733
Application date： Aug. 06, 1992
Publication date： Mar. 01, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高精細な印字品質を要求されるインクジェットプリンターの印字ヘッドの構造及びその製造方法を提供する。【構成】 (110)面方位のSiウェハーの両面に貫通溝のインク加圧室となるべきマスクパターンを形成し、湿式結晶異方性エッチングを行うことにより、ウェハー表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた貫通溝のインク加圧室を形成する。【効果】 ウェハー表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた貫通溝のインク加圧室を簡単に精度良く形成する事ができ、この貫通溝のインク加圧室を用いたインクノズル間ピッチが非常に狭い高密度マルチノズルインクジェットヘッドを容易に製造する事が出来る。
Claim (excerpt)：
複数ノズルと、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立のインク加圧室と、該インク加圧室と連通してインクを供給するオリフィスと、該オリフィスに連通するインクだめを有するインクジェットヘッドにおいて、(110)面方位のSiウェハーを用いて、該インク加圧室の側面が表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた事を特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
