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J-GLOBAL ID：200903071250932430

不連続な前駆体の吐出による金属酸化物等の堆積方法及び装置

Inventor： バウマン、ペーター ,  シューマッハ、マーカス ,  リンドナー、ヨハネス
Applicant, Patent owner： アイクストロン、アーゲー
Agent (3)： 小島 高城郎 ,  河合 典子 ,  佐藤 卓也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007504394
Publication number (International publication number)：2007531256
Application date： Mar. 09, 2005
Publication date： Nov. 01, 2007
Summary：

【課題】類似の方法を、低スループット等の弱点が十分に回避されかつそれにもかかわらず原子層成膜が可能なように、さらに改良することである。【解決手段】本発明は、プロセスチャンバ内で少なくとも1つの膜を少なくとも1つの基板上に堆積する方法であって、膜が少なくとも1つの成分からなり、少なくとも第1の金属成分が、液体の又は液体に溶解した第1の原料を不連続に吐出する使用のもと、特に温度調節されたキャリアガス内で蒸発し、少なくとも第2の成分の化学反応原料が供給される方法に関する。原料が切換えられてプロセスチャンバ内に供給され、2番目の原料が化学反応ガス又は化学反応溶液であることが、本質的である。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

プロセスチャンバ内において、少なくとも1つの層を少なくとも1つの基板上に堆積する方法であって、前記層が少なくとも1つの成分からなり、液体の又は液体に溶けた第1の原料を、特に温度調節されたキャリアガス中に不連続に吐出する使用の下、少なくとも第1の金属成分が蒸発し、少なくとも第2の成分が化学反応原料として供給される方法において、 前記原料が、前記プロセスチャンバ内に交互に供給されることを特徴とする金属酸化物等の堆積方法。

IPC (3)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/31

FI (3)：

H01L21/316 X ,  C23C16/455 ,  H01L21/31 B

F-Term (54)：

4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA04 ,  4K030BA09 ,  4K030BA10 ,  4K030BA12 ,  4K030BA13 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA29 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030HA11 ,  4K030JA09 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045BB02 ,  5F045BB04 ,  5F045EE02 ,  5F045EE14 ,  5F045EE17 ,  5F045EE18 ,  5F045EE19 ,  5F045EE20 ,  5F045EF05 ,  5F058BA06 ,  5F058BA11 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BC08 ,  5F058BC09 ,  5F058BD03 ,  5F058BD04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD09 ,  5F058BD10 ,  5F058BD12 ,  5F058BF06 ,  5F058BF22 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30 ,  5F058BF37 ,  5F058BJ04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 独国公開第10342890号公報
  
• 独国公開第10114956号公報
  
• 独国公開第10057491A1号公報