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J-GLOBAL ID：200903071302066744

感光性ペースト

Inventor： 堀内 健 ,  正木 孝樹 ,  守屋 豪
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997216509
Publication number (International publication number)：1999065102
Application date： Aug. 11, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】プロキシミティー露光を行って、高アスペクト比かつ高精細なパターンの加工を可能にする条件を備えた感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ペーストにおいて、感光性有機成分中の増感剤量を光重合開始剤より多く配合する。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、感光性有機成分中の増感剤が光重合開始剤より多く配合されていることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (11)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 505 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/227 ,  C08F 20/10 ,  C08F290/12 ,  C09D 4/02

FI (11)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 505 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/227 E ,  C08F 20/10 ,  C08F290/12 ,  C09D 4/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-321794   Applicant：東レ株式会社
• 光重合性導電ペースト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-131174   Applicant：旭化成工業株式会社