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J-GLOBAL ID:200903071302576823

間隙形成シートおよび間隙形成シート製造方法ならびに平板状電極接合方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森本 義弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992266942
Publication number (International publication number):1994119881
Application date: Oct. 06, 1992
Publication date: Apr. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 複数の平板状電極を短時間で精度良く積層するための間隙形成用シートを提供することを目的とする。【構成】 電子ビームを制御するための複数の平板状電極5a〜5dと、前記平板状電極間の間隙を形成するための間隙材3と、前記平板状電極を接合するための接合用ペースト材4と前記間隙材および接合うペースト材を形成するための支持体1からなり、支持体1上に形成した間隙材3および接合用ペースト4を平板状電極面に押圧転写し、積層した平板状電極5a〜5dを焼成することによって接合用ペースト材4を溶融し、一定の間隙を有しながら平板状電極5a〜5dを接合する。
Claim (excerpt):
少なくとも片面に離型層を形成した支持体の離型面上に、間隙材を内在させた接着層が形成されている間隙形成シート。
IPC (3):
H01J 29/46 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平3-177474
  • 特開平3-223813
  • 特開昭57-074114
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