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J-GLOBAL ID：200903071306295551

欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板

Inventor： 新井 規之 ,  石田 雅春
Applicant, Patent owner： 東芝エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994271164
Publication number (International publication number)：1996136473
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】【目的】 欠陥検出装置の調整に使用される基準板を提供すること。【構成】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線M、Nが描かれ、そして、第1および第2の線M、Nに挟まれた領域で、かつ第1および第2の線M、Nと同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線a〜cが平行に描かれている

Claim (excerpt)：

互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれている欠陥検出装置用の基準板。

IPC (5)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (2)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C