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J-GLOBAL ID：200903071324259082

ガスノズル

Inventor： 米倉 義道 ,  加藤 光雄 ,  山田 明 ,  小阪 健一郎
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999233545
Publication number (International publication number)：2001054746
Application date： Aug. 20, 1999
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 吹出口からのガスの流速分布を均一にすることができるガスノズルを提供する。【解決手段】 箱型をなすノズル本体11の一端面側に当該ノズル本体11内のヘッダ11cにガス1を供給する管型の供給口11aを設け、ノズル本体11の他端面側に上記ヘッダ11cからのガス1を吹き出すスリット状の吹出口11bを形成し、焼結金属やセラミックスなどからなる多孔質体12をノズル本体11の内部の供給口11aと吹出口11bとの間に当該ノズル本体11の内部を供給口11a側と吹出口11b側とに仕切るようにして設けてなる。

Claim (excerpt)：

ガスを供給される供給口と、前記供給口からの前記ガスを吹き出す吹出口とを有するノズル本体を備えてなるガスノズルにおいて、前記ノズル本体の内部の前記供給口と前記吹出口との間に前記ガスの圧力損失を増大させるガス流速調整手段を設けたことを特徴とするガスノズル。

IPC (3)：

B05B 1/04 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/205

FI (3)：

B05B 1/04 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/205

F-Term (17)：

4F033AA14 ,  4F033BA01 ,  4F033CA05 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033GA10 ,  4F033HA01 ,  4F033HA05 ,  4F033NA01 ,  4K030EA04 ,  4K030EA05 ,  5F045EE20 ,  5F045EF01 ,  5F045EF02 ,  5F045EF04 ,  5F045EF05 ,  5F045EF11