還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梶良之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997067385
Publication number (International publication number)：1998245285
Application date： Mar. 04, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 1000°Cを超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料は、黒鉛基材の表面に、微粒子が緻密に積層した結晶組織のTaC被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±2.0×10-6/Kの範囲内にあることを特徴とする。また、本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、ターゲット材としての金属タンタル及び反応ガスを使用してアークイオンプレーティング(AIP)式反応性蒸着法により上記の熱膨張係数を特性値として有する黒鉛基材の表面に炭化タンタルの皮膜を形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

黒鉛基材の表面に、微粒子が緻密に積層した結晶組織の炭化タンタルの被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±2.0×10-6/Kの範囲内にあることを特徴とする還元性雰囲気炉用炭素複合材料。

IPC (5)：

C04B 41/87 , C01B 31/34 , C04B 35/52 , C23C 14/06 , C23C 14/32

FI (5)：

C04B 41/87 U , C01B 31/34 , C23C 14/06 B , C23C 14/32 Z , C04B 35/54 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開昭56-017914
特開平4-325681
特開平1-249679

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