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J-GLOBAL ID：200903071342258620

反射光学付きレーザー走査装置

Inventor： マッケン ジョン
Applicant, Patent owner： マッケン ジョン
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996527069
Publication number (International publication number)：1999501738
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Feb. 09, 1999
Summary：

【要約】反射光学からなるレーザービーム走査装置(10)。レーザービーム走査装置(10)は第1湾曲ミラー(11)と、互いにほぼ垂直に向けられた第2及び第3のほぼ平らなミラー(12、13)と、第4凹面ミラー(14)と、走査用ミラー(15)とを含む。レーザービーム走査装置(10)は可変走査角度及び焦点距離を有する。反射走査装置の可変焦点距離は2つの垂直なミラー(12、13)を同時に移動させることによって達成される。

Claim (excerpt)：

1.レーザービームの所定部分を角度的に指向する少なくとも1つの走査用ミラーを含むレーザービーム走査装置じあって、 前記レーザービームは第1ミラー、第2ミラー、第3ミラー、第4ミラー、前記少なくとも1つの走査用ミラーに順次伝搬し、次いで外部焦点に伝搬する中心線光路を有し、 前記第1ミラーは湾曲ミラーであり、 前記第2及び前記第3ミラーは互いほぼ垂直に向けられたほぼ平らなミラーであり、 前記第4ミラーは凹面湾曲ミラーであり、 前記第2及び前記第3ミラーは、該ミラーを前記向きを保持しながら所定方向に同時に移動させることができるように取り付けられ、 前記中心線光路は前記第4ミラーから前記作動する焦点まで延びる長さSのビームセグメントを有し、 前記所定方向における前記第2ミラー及び前記第3ミラーの前記同時移動は、前記ビームセグメントの前記距離Sの10%の変化について3ミリラジアン以下の前記レーザービームの角度指向を生じさせながら前記距離Sの変化を生じさせる、レーザービーム走査装置。