Pat
J-GLOBAL ID：200903071346538090
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998118907
Publication number (International publication number)：1999312303
Application date： Apr. 28, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 記録トラック幅を規定するポールチップとヨーク部分との連結箇所での磁束の飽和や漏れがなく、特性が良好な薄膜磁気ヘッドおよびそれを高い歩留りでかつ低コストで製造できる方法を提供する。【解決手段】 磁性層37の上に無機絶縁層38を形成し、その上にライトギャップ層39を形成した後、導電性磁性材料より成るシード層40を形成し、このシード層を一方の電極とする電気メッキによってポールチップを構成する磁性材料層41を選択的に形成し、さらにこのシード層を用いて銅の電気メッキを行って薄膜コイルを構成する導電材料層43を形成する。次に、余分なシード層40をイオンビームエッチングよって除去し、薄膜コイルを絶縁分離した状態で支持する無機絶縁層44を形成する。絶縁層48で支持された第2層目の薄膜コイル47を形成した後、ヨーク部分49を、その先端面がエアベアリング面から後退するように形成する。
Claim (excerpt)：
磁極部分を有する磁性層と、磁気記録媒体と対向し、記録トラックの幅を規定する幅を有する磁極部分を有し、この磁極部分の端面が前記磁性層の磁極部分の端面と共にエアベアリング面を構成するポールチップと、このポールチップのエアベアリング面から離れた後方部分において連結されるとともにエアベアリング面から遠い位置において前記磁性層と磁気的に連結されたヨーク部分と、少なくとも前記エアベアリング面において前記磁性層の磁極部分とポールチップとの間に介挿されたライトギャップ層と、前記磁性層と前記ポールチップおよびヨーク部分との間に絶縁分離された状態で支持された部分を有する薄膜コイルと、前記磁性層、ポールチップ、ヨーク部分、ライトギャップ層および薄膜コイルを支持する基体と、を具える薄膜磁気ヘッドであって、前記ポールチップが導電性磁性材料のシード層と磁性材料層とを有し、前記薄膜コイルが前記導電性磁性材料と同じ導電性磁性材料のシード層と、導電材料層とを有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (2)：
FI (5)：
G11B 5/31 D
, G11B 5/31 C
, G11B 5/31 F
, G11B 5/31 K
, G11B 5/39
Cited by applicant (3)
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特開平2-247809
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特開昭61-150118
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特開平2-235211
Cited by examiner (3)
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特開平2-247809
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特開昭61-150118
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特開平2-235211
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