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J-GLOBAL ID：200903071361353625

半導体露光装置

Inventor： 毛見 柳一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031337
Publication number (International publication number)：1993198467
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 露光光のエネルギーによる温度変動を正確にモニタし、これに基づき投影レンズの光学特性を高精度に一定に保つことができる半導体露光装置を提供する。【構成】 露光転写すべきパターンを照射する照明手段2と、該照明手段2により照射されたパターンを被露光物4上に投影し該被露光物4の感光面に該パターンを結像するための投影光学系3とを具備した半導体露光装置において、前記投影光学系3内部の温度変化又は温度変化による状態変化を検出する温度変動検出手段6と適切な温調を行うシステムを設ける。

Claim (excerpt)：

露光転写すべきパターンを照射する照明手段と、該照明手段により照射されたパターンを被露光物上に投影し該被露光物の感光面に該パターンを結像するための投影光学系とを具備した半導体露光装置において、前記投影光学系内部の温度変化または温度変化による状態変化を検出する温度変動検出手段を設けたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 301 H ,  H01L 21/30 311 L