Pat
J-GLOBAL ID:200903071361949579
観察光学系
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
向 寛二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001153323
Publication number (International publication number):2002350719
Application date: May. 23, 2001
Publication date: Dec. 04, 2002
Summary:
【要約】【課題】 回折光学素子を備え正確な合焦状態を検出する機能を有するようにする。【解決手段】 波長λ1を含む第1の光源と、第1の光源からの光を標本上に導く照明光学系と、対物レンズを含む結像光学系と、波長λ2を含む第2の光源を有する合焦状態を検出する合焦検出光学系を備え、波長λ1の回折効率が最大になる回折次数Aと波長λ2の回折効率が最大になる回折次数Bとが異なる回折面を有する回折光学素子を有するようにした。
Claim (excerpt):
波長λ1の光を含む第1の光源と、該第1の光源からの光を標本上に導く照明光学系と、対物レンズを介して前記標本の像を形成する結像光学系と、波長λ2の光を含む第2の光源を有し合焦状態を検出する合焦検出光学系とを備え、前記第1の光源からの光と前記第2の光源からの光を前記対物レンズと通して前記標本上に照射する観察光学系であって、前記波長λ1の光における回折効率が最大になる回折次数をA、前記波長λ2の光における回折効率が最大になる回折次数をBとした時、前記対物レンズが前記回折次数Aと前記回折次数Bとが異なるような回折面を有する回折光学素子を少なくとも1つ有する観察光学系。
IPC (4):
G02B 13/00
, G02B 5/18
, G02B 13/14
, G02B 13/18
FI (4):
G02B 13/00
, G02B 5/18
, G02B 13/14
, G02B 13/18
F-Term (30):
2H049AA17
, 2H049AA18
, 2H049AA45
, 2H049AA50
, 2H049AA55
, 2H049AA63
, 2H087KA09
, 2H087LA01
, 2H087NA04
, 2H087PA13
, 2H087PA14
, 2H087PA18
, 2H087PB14
, 2H087PB15
, 2H087QA03
, 2H087QA06
, 2H087QA12
, 2H087QA21
, 2H087QA25
, 2H087QA39
, 2H087QA41
, 2H087QA46
, 2H087RA05
, 2H087RA13
, 2H087RA32
, 2H087RA44
, 2H087RA45
, 2H087RA46
, 2H087UA03
, 2H087UA04
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