Pat

J-GLOBAL ID：200903071368466417

クリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法

Inventor： 今井 眞 ,  平 敏和 ,  坂田 潔治 ,  林 明子
Applicant, Patent owner： 株式会社住化分析センター
Agent (1)： 久保山 隆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002112066
Publication number (International publication number)：2003307511
Application date： Apr. 15, 2002
Publication date： Oct. 31, 2003
Summary：

【要約】【課題】クリーンルーム内の大気中の有機物を、多孔質高分子系吸着剤を用いたときより正確に分析する方法を提供する。【解決手段】吸着剤として、グラファイトカーボン系吸着剤を用いるクリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法。グラファイトカーボン系吸着剤にクリーンルーム内の大気を接触させて該大気中の有機物を該吸着剤に吸着させる第1工程と、該吸着剤を加熱して該吸着剤に吸着した有機物を熱脱離させる第2工程と、前記第2工程により熱脱離した有機物を分離分析装置を用いて分析を行う第3工程とからなる分析方法。

Claim (excerpt)：

クリーンルーム内の大気中の有機物を分析するに際し、当該有機物の吸着剤として、グラファイトカーボン系吸着剤を用いることを特徴とするクリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法。

IPC (7)：

G01N 30/48 ,  F24F 7/06 ,  G01N 1/22 ,  G01N 30/00 ,  G01N 30/04 ,  G01N 30/72 ,  G01N 30/88

FI (8)：

G01N 30/48 J ,  G01N 30/48 G ,  F24F 7/06 C ,  G01N 1/22 L ,  G01N 30/00 E ,  G01N 30/04 A ,  G01N 30/72 A ,  G01N 30/88 C

F-Term (25)：

2G052AA03 ,  2G052AB11 ,  2G052AC13 ,  2G052AD02 ,  2G052AD22 ,  2G052AD26 ,  2G052AD42 ,  2G052BA02 ,  2G052BA14 ,  2G052CA02 ,  2G052CA04 ,  2G052CA12 ,  2G052EB01 ,  2G052EB04 ,  2G052EB11 ,  2G052EB13 ,  2G052ED01 ,  2G052ED06 ,  2G052ED09 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052JA09 ,  2G052JA11 ,  2G052JA13 ,  3L058BF09