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J-GLOBAL ID：200903071395367757

基板保管装置

Inventor： 大久保 和雄 ,  田中 亮 ,  店部 庸子
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998136144
Publication number (International publication number)：1999314703
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】 コンパクトな装置構成によって、多量の保管基板を、汚染を防止しながら収容密度高くかつ出し入れ容易に収容することができる基板保管装置を提供する。【解決手段】 基板W又は基板を収容する容器10を個別に出し入れ可能な複数の収容室16と、各収容室に連通する送気通路24及び排気通路26と、送気通路及び排気通路を介して各収容室内に清浄空気を循環させる共通の空気循環手段24,26,28とを有する。

Claim (excerpt)：

基板又は基板を収容する容器を個別に出し入れ可能な複数の収容室と、前記各収容室に連通する送気通路及び排気通路と、前記送気通路及び排気通路を介して前記各収容室内に清浄空気を循環させる共通の空気循環手段とを有することを特徴とする基板保管装置。

IPC (3)：

B65G 1/00 521 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/68

FI (3)：

B65G 1/00 521 D ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/68 A