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J-GLOBAL ID：200903071402179821

基板上に配置された固化層からモールドを分離させる方法

Inventor： チョイ,ビュン-ジン ,  チェララ,アンシュマン ,  チョイ,ヨン-ジュン ,  メイッスル,マリオ・ジェイ ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ ,  シューメーカー,ノーマン・イー ,  ル,シャオミン ,  マックマッキン,イアン・エム ,  バブス,ダニエル・エイ
Applicant, Patent owner： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
Agent (2)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007553123
Publication number (International publication number)：2008537513
Application date： Jan. 12, 2006
Publication date： Sep. 18, 2008
Summary：

本発明はテンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法に向けられ、この方法はとりわけ、層からテンプレートを分離させるためにテンプレートに分離強制力を印加する工程、および分離を達成するために必要とされる分離強制力を小さくするために基板内の局所的変形を促す工程を含む。

Claim (excerpt)：

テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、 前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、 前記基板内の局所的に変形させるステップとを含む方法。

IPC (5)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B29C 33/44 ,  B81C 5/00

FI (5)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  G03F7/20 501 ,  B29C33/44 ,  B81C5/00

F-Term (32)：

2H097AA20 ,  3C081AA17 ,  3C081CA37 ,  4F202AA44 ,  4F202AD03 ,  4F202AD04A ,  4F202AD19 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH81 ,  4F202AM30 ,  4F202AR02 ,  4F202AR07 ,  4F202CA01 ,  4F202CA19 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CB12 ,  4F202CB29 ,  4F202CM08 ,  4F202CM31 ,  4F202CP04 ,  4F202CP06 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ08 ,  4F209AM28 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ14 ,  5F046AA28