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J-GLOBAL ID：200903071449297946
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267548
Publication number (International publication number)：1998111300
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：
【要約】【課題】 試料表面の凹凸に関する空間周波数が高い場合でも、その表面形状を正確に検出できるようにした走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料52の表面と探針54との間隙を目標値と比較し、両者の差分を誤差信号S2として発生する比較器75と、探針54を試料52に対して相対的にXYZ方向へ微動させるアクチュエータ55およびその駆動増幅器70と、前記誤差信号S2に基づいて、試料表面と探針54との間隙を前記予定値に保つための制御信号S3を発生し、位置検出器73、差動増幅器74、比較器75およびアクチュエータ駆動増幅器70と共にフィードバック回路を構成するPI制御部76と、前記誤差信号S2および制御信号S3を合成して観察像信号S4を発生する加算器62とを設けた。
Claim (excerpt)：
試料表面に探針を近接させ、両者の間隙が予定値に保たれるように探針および試料の少なくとも一方をZ軸方向へ微動させながら、探針を試料表面でXY方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡において、試料表面と探針との間隙を代表する信号を前記予定値を代表する信号と比較し、両者の差分を誤差信号として発生する手段と、探針を試料に対して相対的にXYZ方向へ微動させる微動機構と、前記誤差信号に基づいて、試料表面と探針との間隙を予定値に保つための制御信号を発生するフィードバック制御手段と、前記誤差信号および制御信号を合成する手段と、前記合成された信号に基づいて観察像信号を発生する手段とを具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
