振動ピックアップの校正方法およびその装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：飯沼義彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996083364
Publication number (International publication number)：1997222353
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】振動ピックアップの零点法による校正方法において、測定系の振動レベルの設定を容易にするとともに、比較的低周波数でかつ根の次数の大きな条件で校正して校正誤差を小さくする。【解決手段】マイケルソン式干渉計のホトダイオード15で検出された「干渉縞の周波数の平均値」と「発振器17の周波数」との比Rfを比カウンタ20にデジタル表示させ、予め算出された計数値の近傍にRfが達するように発振器のボリウム17aを操作した後、フィルタ21の出力が極小となるように発振器17のレベルを微調することにより、測定系を簡単に所望の振動レベルに設定することができる。

Claim (excerpt)：

発振器と、同発振器により加振されるとともに振動ピックアップを取り付けられる加振機と、レーザ発光器と、同レーザ発光器から発光されたレーザ光と上記振動ピックアップの鏡面で反射された上記レーザ光とが干渉して生成された干渉縞を検出する光電変換素子と、からなる光波干渉計と、上記振動ピックアップの出力を計測する電圧計とをそなえた測定系により、零点法により振動ピックアップを校正する振動ピックアップの校正方法において、上記干渉計で検出された干渉縞の強度をベッセル関数として捉え、同ベッセル関数の根の各次数に対応する上記加振機の振幅aと、上記干渉縞の周波数の平均値と上記発振器の周波数との比Rfとを算出し、上記発振器のレベルを調節して上記測定系におけるRfの値を所定の根の次数に対応するRfi値の近傍に設定し、その後フィルタ出力を極小となるように発振器の出力レベルを微調してその時の上記電圧計で計測された上記振動ピックアップの出力電圧Viと当該根の次数に対応の加振機の振幅aiとの比Vi/aiから上記振動ピックアップ感度を算出するようにしたことを特徴とする、振動ピックアップの校正方法。

IPC (3)：

G01H 9/00 , G01H 17/00 , G01P 21/00

FI (3)：

G01H 9/00 C , G01H 17/00 D , G01P 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

半導体レーザデジタル振動変位計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-083374 Applicant：新技術事業団
特開昭63-243819

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