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J-GLOBAL ID：200903071455023297

原子間力顕微鏡用カンチレバー、その製造方法、このカンチレバーを用いた原子間力顕微鏡及びこのカンチレバーを用いた試料表面密着性評価方法

Inventor： 安江 孝夫 ,  西岡 直
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993026841
Publication number (International publication number)：1994241777
Application date： Feb. 16, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、二物質表面間の密着性を定量的に評価することを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡のカンチレバーの探針12の表面を所望の膜、例えばレジスト膜11bで形成し、この探針12と試料との間に作用する原子間力を測定し、この原子間力に基づいて探針12の表面に形成された膜11bと試料表面との間の密着性を評価する。

Claim (excerpt)：

探針と、前記探針を支持すると共に前記探針と試料との間に作用する原子間力に応じて湾曲するカンチレバー本体とを備え、少なくとも前記探針の表面がレジスト膜から形成されたことを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28