Pat

J-GLOBAL ID：200903071489235668

電気光学プロ-ブ

Inventor： 伊藤 昭成 ,  太田 克志 ,  八木 敏之 ,  品川 満 ,  永妻 忠夫 ,  山田 順三
Applicant, Patent owner： 安藤電気株式会社 ,  日本電信電話株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999280569
Publication number (International publication number)：2000180477
Application date： Sep. 30, 1999
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 金属ピンを容易に交換できるような電気光学プローブを提供する。【解決手段】プローブ本体22の先端部22aを構成するプローブヘッド24を、電気光学素子26を保持するヘッド本体30と、ヘッド本体30に着脱自在に設けられて、金属ピン32を保持する先端部材31とにより構成した。

Claim (excerpt)：

プローブ本体の内部における該プローブ本体の基端部側と先端部側との間に光路が形成され、前記光路の前記プローブ本体の基端部側の一端には、レーザーダイオードが配置され、前記光路の前記プローブ本体の先端部側の他端には、電気光学素子が前記プローブ本体の先端部を構成するプローブヘッドに保持された状態で配置され、該プローブヘッドには、金属ピンが、その基端が前記電気光学素子に接続するとともに、その先端が該プローブヘッドから突出する状態で設けられ、前記レーザダイオードから発せられるレーザ光を、前記光路を通じて前記電気光学素子に入射し、この入射光を前記電気光学素子に設けられた反射膜によって反射し、さらに、この反射光を分離してフォトダイオードにより電気信号に変換する構成となっており、前記プローブヘッドは、前記電気光学素子を保持するヘッド本体と、該ヘッド本体に着脱自在に設けられて、前記金属ピンを保持する先端部材とを備えた構成とされていることを特徴とする電気光学プローブ。

IPC (5)：

G01R 13/40 ,  G01R 1/06 ,  G01R 15/24 ,  G01R 19/00 ,  G01R 31/302

FI (5)：

G01R 13/40 ,  G01R 1/06 F ,  G01R 19/00 V ,  G01R 15/07 C ,  G01R 31/28 L