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J-GLOBAL ID：200903071513191936

固体撮像素子

Inventor： 松田 健 ,  杉本 大
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996065366
Publication number (International publication number)：1997232552
Application date： Feb. 27, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】固体撮像素子に関し、例えばCCD固体撮像素子に適用して、遮光膜表面の反射率を低減して簡易かつ確実にパターンニングできるようにする。【解決手段】表面に酸化タングステン膜22を形成したタングステン層により遮光膜21を形成する。

Claim (excerpt)：

マトリックス状に配置した光電変換部間に電極を配置し、前記電極を遮光膜で覆って遮光する固体撮像素子において、前記遮光膜を、表面に酸化タングステン膜を形成したタングステン層により形成したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 B