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J-GLOBAL ID：200903071518739352
電子顕微鏡のアクティブ除振装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995004690
Publication number (International publication number)：1996195179
Application date： Jan. 17, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：
【要約】【構成】水平方向及び上下方向に加力できるアクチュエータ3,4と、電子顕微鏡の振動を検出してアクチュエータ3,4を制御するコントローラ13からなる。【効果】床振動に対して、機器本体の絶対加速度を大幅に低減することができる。
Claim (excerpt)：
電子顕微鏡のアクティブ除振装置において、電子顕微鏡を構成する電磁レンズの本体を支持する定盤と床に設置するための架台との間に設けた水平及び上下方向アクチュエータ部材と,電子顕微鏡の振動状態を検出する検出器と,前記検出器の信号に基づいて前記水平及び上下方向アクチュエータ部材を制御するコントローラから構成されることを特徴とするアクティブ除振装置。
IPC (4)：
H01J 37/16
, F16F 15/02
, H01J 37/26
, H01L 41/08
