Pat
J-GLOBAL ID：200903071521795913
格子定数測定方法およびそのための装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
松山 允之
, 日向寺 雅彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002379575
Publication number (International publication number)：2004212105
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：
【課題】本発明は任意の結晶において、CBED法により結晶の格子定数(歪み量)を測定する技術において、実効空間分解能劣化を抑制し、歪み量測定精度劣化も同時に抑制することが可能な収束電子線の結晶への入射方向を決定する技術を提供することを目的としている。【解決手段】評価対象結晶の標準格子定数をa0、格子定数をa、任意の格子定数変化量Δaとした場合、a=a0およびa=a0+Δaの場合の任意の高次ラウエゾーン線(HOLZ線)の交点がつくる三角形の面積をそれぞれSj、Sj+とし、任意の試料傾斜角度範囲内で|Sj-Sj+|の最大値をSmaxとしたとき、1.0≦(Smax/|Sj-Sj+|)≦2.0を満足する方向から収束電子線を入射する。選択した入射方位を用いたCBED法を実施した場合、実効空間分解能の劣化および歪み量測定精度の劣化の双方を抑制可能となる。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
単結晶層を有する試料に収束電子線を照射し、前記試料中で回折して出射される高次ラウエゾーン線パターンにより前記試料の格子定数を測定する方法において、
前記収束電子線を任意の角度から照射できる試料台に前記試料を載置し、
前記試料を構成する結晶の標準格子定数をa0とし、前記試料の格子定数をaとし、任意の格子定数変化量をΔaとして、a=a0およびa=a0+Δaの任意の高次ラウエゾーン線の交点がつくる三角形の面積をそれぞれSj、Sj+とし、任意の試料傾斜角度範囲内で|Sj-Sj+|の最大値をSmaxとしたとき、
1.0≦(Smax/|Sj-Sj+|)≦2.0
を満足する方向から前記収束電子線を入射するように前記試料台を傾斜させて、前記試料に前記収束電子線を照射し、これによって得られた高次ラウエゾーン線パターンにより前記試料の格子定数を算出することを特徴とする格子定数測定方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (12)：
2G001AA03
, 2G001BA19
, 2G001CA03
, 2G001DA09
, 2G001GA07
, 2G001HA13
, 2G001KA08
, 2G001KA20
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA07
, 2G001PA15
