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J-GLOBAL ID:200903071528510604

VOC迅速分析システムおよび分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 小松 高 ,  和田 憲治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008104951
Publication number (International publication number):2009257839
Application date: Apr. 14, 2008
Publication date: Nov. 05, 2009
Summary:
【課題】クリーンルーム等のVOCを迅速かつ簡便に精度良く分析する技術を提供する。【解決手段】「吸引手段」、空気中のVOCをトラップする捕集剤を持つ「VOC捕集手段」、「空気採取管」、「キャリアガス導入管」、「カラム」、「検出器」を備え、かつガスの経路を下記の3モードに切り替える弁機構を有し、下記分析モードにおいてはVOC捕集手段の捕集剤から脱着させたVOC成分を分析するようにしたVOC迅速分析システム。(1)空気採取モード; 空気採取管→VOC捕集手段→吸引手段(2)分析モード; キャリアガス導入管→VOC捕集手段→カラム→検出器(3)洗浄モード; キャリアガス導入管→VOC捕集手段、およびキャリアガス導入管→カラム→検出器【選択図】図2
Claim (excerpt):
管路からガスを吸引する「吸引手段」、空気中のVOCをトラップする捕集剤と捕集されたVOC成分を脱着させるための加熱機構を持つ「VOC捕集手段」、外部空間につながる「空気採取管」、キャリアガス源につながる「キャリアガス導入管」、「カラム」および「検出器」を備え、かつガスの経路を少なくとも下記の2モードに切り替える弁機構を有し、下記分析モードにおいてはVOC捕集手段の捕集剤から脱着させたVOC成分を分析するようにしたVOC迅速分析システム。 (1)空気採取モード; 空気採取管→VOC捕集手段→吸引手段 (2)分析モード; キャリアガス導入管→VOC捕集手段→カラム→検出器
IPC (12):
G01N 30/00 ,  G01N 1/22 ,  G01N 33/00 ,  G01N 30/04 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/26 ,  G01N 30/02 ,  G01N 30/86 ,  G01N 30/64 ,  G01N 30/78 ,  G01N 27/64 ,  G01N 27/62
FI (16):
G01N30/00 E ,  G01N1/22 L ,  G01N33/00 D ,  G01N30/00 B ,  G01N30/04 A ,  G01N30/06 G ,  G01N30/26 L ,  G01N30/26 M ,  G01N30/26 Q ,  G01N30/02 Z ,  G01N30/86 J ,  G01N30/86 Q ,  G01N30/64 F ,  G01N30/78 ,  G01N27/64 B ,  G01N27/62 A
F-Term (29):
2G041CA04 ,  2G041DA02 ,  2G041DA17 ,  2G041EA06 ,  2G041FA07 ,  2G041HA06 ,  2G041LA08 ,  2G052AA01 ,  2G052AA03 ,  2G052AB11 ,  2G052AB27 ,  2G052AC02 ,  2G052AD02 ,  2G052AD42 ,  2G052BA14 ,  2G052BA21 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052CA12 ,  2G052CA35 ,  2G052CA38 ,  2G052ED06 ,  2G052ED09 ,  2G052FC05 ,  2G052FC11 ,  2G052GA27 ,  2G052HB07 ,  2G052JA04 ,  2G052JA06
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (6)
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